该真空系统主要由粗抽真空泵.分子泵.控制系统.真空阀门组成。真空舱为圆柱直桶 内径600毫米长度1米的不锈钢304L的卷压焊接加工…
该真空系统主要由粗抽真空泵.分子泵.控制系统.真空阀门组成。真空舱为圆柱直桶
内径600毫米长度1米的不锈钢304L的卷压焊接加工.真空抽气系统由前级泵.出口阀.预抽
阀.主阀.分子泵组成
1.腔体:圆柱形内径φ600mm 有效长度1米
2工作真空度指标:≤1.3*10-4Pa。
3. 使用PLC加人机界面进行控制
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